真空技术是现代科学技术的一个重要组成部分， 广泛应用于国民经济中的各个领域里，真空包装机则常被用于食品行业，因为经过真空包装以后，食品能够抗氧化，从而达到长期保存的目的。

真空包装机能够自动抽出包装袋内的空气，达到预定真空度后完成封口工序。亦可再充入氮气或其它混合气体，然后完成封口工序。

当空气绝对压力小于40 kPa 时， 目前尚无简便有效的气流质量流量测量手段， 因此监测真空机气体流量时在流量调节过程中，调节阀必不可少。真空状态下， 流经调节阀的流量几乎完全由阀前、后压力、气流温度四个变量决定。　真空气体流量的测量常见于需要真空气流的过程， 如宽范围湿度的发生过程， 卷烟的生产过程及大气环境的模拟过程等。在大气环境模拟过程中， 动态真空实验箱内真空环境的更新速度， 是衡量实验箱性能的一个重要指标。为控制动态真空实验箱内真空环境的更新速度， 必须实时测量真空状态下的气体流量。真空状态下， 气体流量的测量具有如下特点 ：

（1）流量密度小， 限制了涡街流量计与超声流量计的正常使用。对于前者相应的气流推力过小，对于后者则会产生阻抗匹配的困难。

（2）不允许引入明显的压力损失。真空管道上安装流量计后增大了阻力， 产生较大的压损将使动力损耗大大增加， 不利于节能。因而孔板流量计、涡轮流量计、容积式流量计等均不适用。

（3）流量计在负压管道上安装后， 如果存在泄漏很难觉察， 不仅会浪费动力， 而且会严重破坏内部气体环境。

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美国Siargo微机电气体质量流量传感器 FS1015CL系列产品特点：

高灵敏度，应用热式质量流量计原理可测量最低至8mm/sec的流体流量

无旁通结构，低压损

传感器的零点稳定度高

经消毒液杀菌处理后可重复使用

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主机设备上的用户界面可轻松实现线性输出

美国Siargo微机电气体质量流量传感器 FS1015CL系列机械图：

美国Siargo微机电气体质量流量传感器 FS1015CL系列技术参数：