MEMS是多学科交叉的复杂系统，整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。MEMS产业链的上游负责MEMS器件设计、材料和生产设备供应，中游生产制造出MEMS器件、下游使用MEMS器件制造终端电子产品。
MEMS整个产业链复杂，涉及的厂商众多；中国的设计、制造、封装测试厂商都在积极布局MEMS，已形成完整MEMS的产业链。
1、全球MEMS生产厂商
全球前十名 MEMS厂商主要包括博世、意法半导体、惠普、德州仪器、佳能、InvenSense、 Avago和 Qorvo、楼氏电子、松下等等。其中 BOSCH因为其在汽车电子和消费电子的双重布局，牢牢占据着行业的第一的位置，其营收约占五大公司合计营收的三分之一。
大部分 MEMS行业的主要厂商是以 Fabless为主，例如楼氏、 HP、佳能等。同时，平行的也有 IDM厂商垂直参与到整条产业链的各个环节，比如 Bosch、 ST等都建有自己的晶元代工生产线。
图：全球MEMS生产厂商
2、MEMS代工
MEMS代工主要有两种类型：IDM厂商提供的MEMS代工，独立的代工厂提供的MEMS代工，其中独立的代工厂包括集成电路代工厂和纯MEMS代工厂。近几年Fabless模式的MEMS器件制造商发展迅速，独立的MEMS代工厂努力寻求标准化的工艺以提升规模经济，减少制造时间和降低成本，使得独立的MEMS代工厂快速成长，但目前IDM代工仍处于市场领导地位。
3、MEMS封装测试
目前具备MEMS封装测试能力的国际厂商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技等，国内有华天科技、长电科技、晶方科技等厂商。尽管国内的MEMS前端制造还落后于国际大厂，由于国内的封装技术起步较早，国内MEMS产业链后端封装较为完善。
中国MEMS产业详解
从产品使用领域结构来看，国内 MEMS公司在营业规模、技术水平、产品结构、与国外有明显差距， 60%-70%的设计产品集中在加速度计、压力传感器等传统领域。工艺开发是我国 MEMS行业目前面临最主要的问题，产品在本身技术实力和生产工艺还有待于进步。国内MEMS行业的 fabless规模相对较小，但市场规模来说具备很大的发展空间。面对国内巨大的消费电子市场，自产自销满足国内部分中低端市场需求，也是国内 Fabless司的一个捷径。
1、国内传感器企业的区域布局
中国 MEMS设计企业主要集中于华东地区，约占全国企业总数的 55%，其中，以上海、苏州、无锡三地为产业集中地：
上海：深迪，矽睿，丽恒，芯敏，微联，铭动，文襄，天英，巨哥
苏州：明皜，敏芯，双桥，多维，能斯达，汶灏，圣赛诺尔，希美
无锡：美新，乐尔，康森斯克，微奥，杰德，必创，微纳，芯奥微，沃浦
其他：深圳瑞声，山东歌尔，河北美泰，山西科泰，郑州炜盛，北京水木智芯，浙江大立，武汉高德，成都国腾，西安励德，天津微纳芯等。
2、中国MEMS产业链相关企业简介
1）耐威科技-国内MEMS代工龙头
耐威科技是国内产品同时涵盖惯性及卫星导航，具有军工资质的为数不多的企业之一。公司立足导航产业，经多年发展形成“惯性导航+卫星导航+组合导航”产业链全覆盖，掌握了惯性导航及组合导航、高精度卫星导航定位的若干关键技术，同时其控股子公司具有从事军品研发、生产与销售的专业资质。
2）苏奥传感-国内汽车油量传感器龙头
苏奥传感全称为江苏奥力威传感高科股份有限公司，其主营业务是研发、生产和销售汽车零部件，主要产品分为三大类，分别为传感器及配件、燃油系统附件及汽车内饰件。目前是中国最大的汽车油量传感器制造企业之一，江苏省高新技术企业，公司于2016年4月29日在深交所创业板上市。苏奥传感目前公司拥有四家子公司，即传感器研究所、舒尔驰精密、烟台奥力威及武汉奥力威。2015年10月8日，公司决定对传感器研究所进行清算并注销。
3）苏州固锝-已量产MEMS惯性传感器
苏州固锝是国内半导体分立器件二极管行业最完善、最齐全的设计、制造、封装、销售的厂商，从前端芯片设计到后端封装技术，形成了一个完整的产业链。主要产品包括汽车整流二极管、功率模块、整流二极管芯片、硅整流二极管、开关二极管、稳压二极管、微型桥堆、军用熔断丝、光伏旁路模块等，产品广泛应用在航空航天、汽车、绿色照明、IT、家用电器以及大型设备的电源装置等许多领域。公司设计、研发太阳能电池用银浆以及各种电子浆料，研发并规模化生产物联网领域的MEMS传感器。
4）华工科技-国内家电温度传感器龙头
华工科技依托于华中科技大学，以激光技术及其应用为主业，建立了激光装备制造、光通信器件、激光全息仿伪、传感器、现代服务业的产业格局，将以智能制造和物联科技为主要业务发展方向。公司旗下企业华工激光、华工正源、华工高理、华工图像、华工赛百的产品广泛应用于机械制造、航空航天、汽车工业、钢铁冶金、船舶工业、通信网络、国防军工等重要领域，市场占有率处于行业领先地位。
5）士兰微-国内稀缺的IDM模式半导体公司
士兰微是一家专业从事集成电路以及半导体微电子相关产品的设计、生产与销售的高新技术企业。主要分为电源与功率驱动产品线、MCU 产品线、数字音视频产品线、物联网技术与产品线、射频与混合信号产品线、分立器件产品线等。目前是国内为数不多的IDM 模式半导体公司。
6）汉威电子-国内气体传感器龙头
汉威电子是国内最大的气体传感器及仪表制造商。公司围绕物联网产业，将感知传感器、智能终端、通讯技术、云计算和地理信息等物联网技术紧密结合，打造汉威云，建立完整的物联网产业链，结合环保治理、节能技术，为智慧城市、安全生产、环境保护、民生健康提供完善的解决方案。汉威电子坚持“聚焦专业细分市场”的发展战略，产品和系统解决方案已应用于全球近百个国家，建立了以传感器为核心，覆盖多门类检测仪表及行业物联网应用的整体布局。
7）中航电测-军工MEMS龙头
中航电测仪器股份有限公司是中国航空工业集团公司控股企业，主营业务为研制电阻应变计、精密电阻、应变式传感器、称重仪表和软件、航空机载和地面测试系统、机动车性能及环保检测系统、机动车驾驶员智能化培训系统、远程联网监管网络平台、车载称重控制系统、工业自动化系统、精密机电控制产品和物联网应用等军民用测量和控制产品及系统解决方案。公司拥有国际水平的设计能力、高水平的工艺装备及工艺制造技术，在国内中高端应变计和传感器市场占据主导地位