MEMS器件，尤其是MEMS传感器已成为智能手机中的标准配置。苹果iPhone和Research in MoTIon (RIM)的Blackberry Storm等畅销机型，以及三星的Omnia、HTC的Diamond和诺基亚的N95及N96，都采用了惯性传感器。

同时，智能手机应用软件日益庞大的生态系统很大程度上要归功于MEMS传感器。事实上，由于智能手机永远在线的互联网访问和传感器技术的不断发展，智能手机正在快速变成地球上最大的无线传感器网络。

智能手机中采用MEMS技术加工的传感器、执行器和光学器件主要如下，如图1所示。

图1 智能手机中的MEMS器件?

加速度计、陀螺仪、电子罗盘：惯性测量单元（IMU）实现室内导航。

加速度计还可以实现自由落体检测、倾斜控制、计步器、手势检测、单击/双击检测、画面翻转等功能。

陀螺仪还可以实现图像防抖、增强现实等功能。

压力传感器：提供多层建筑及商场的精确高度数据，推进LBS服务。

硅微麦克风：相比传统的电容式麦克风，硅微麦克风可以采用表贴工艺进行制造，能够承受很高的回流焊温度，容易与CMOS工艺及其它音频电路相集成，并具有改进的噪声消除性能与良好的RF及EMI抑制性能。

MEMS微镜：微投影仪。

CMOS图像传感器、自动对焦执行器：照相机/摄像机。

环境光感测器：应用优势是帮助手机节省显示屏功耗，增加电池的工作时间。最新的光感测器包括了更多功能，如光谱响应与动态范围、集成接近探测，以及数字通信等。

接近传感器、微型显示器：具有触摸灵敏度的显示屏。

MEMS振荡器、RF开关：蜂窝无线模块。

从图2中可以看出MEMS传感器市场发展情况：压力传感器、加速度计和陀螺仪已经进入了成熟期，麦克风和电子罗盘还处于发展期，其他传感器还处于孕育期。

图2 MEMS器件市场发展阶段?

在加速度计、陀螺仪一波又一波手机市场攻势下，电子罗盘开始发力。电子罗盘不需要接受卫星信号，是对GPS指示方向功能的补充。图3显示了电子罗盘在手机市场上的发展情况。

2004-2007年，日本电子市场上出现了集成电子罗盘的手机，在日本首次提供导航服务。

2009年，诺基亚N97和苹果iPhone 3GS集成了电子罗盘。

2010-2011年，市场期待的LBS服务推动电子罗盘进入主流市场。2010年，智能手机的主要品牌都引入了电子罗盘（磁传感器）。

图3 电子罗盘在手机市场上的发展情况?

手机市场变化非常快，现在看来2010年是MEMS传感器运用于手机中的转折点：MEMS传感器手机市场正经历着两位数的增长，预计到2015年销售额达到79.1亿美元。

有几个原因可以解释为什么MEMS传感器市场正在快速增长：

1、智能手机的市场份额正在快速上升：2015年44%的手机都将是智能手机。智能手机的优势是采用了领先的MEMS传感器技术为客户提供了新功能/服务，并提高了手机性能。

2、集成的GPS功能不仅仅局限于高端手机。2010年，近三分之一的手机中集成了GPS功能。这是另一个集成运动传感器的驱动因素：当GPS组合了电子罗盘、加速度计和陀螺仪之时，新的服务（如LBS服务）将会诞生。预计2015年，运动传感器手机市场将达到11.9亿美元。2009-2015年，复合年增长率为25.3%，如图4所示。

图4 2009-2015年MEMS传感器手机市场?

图5是手机中实现的5组不同运动传感功能，从图中看出，随着运动复杂性的增加，其附加值也提高。

图5 手机中实现的5组不同运动传感功能?

3、当前，随着越来越多的多波段多模式的手机出现，其RF部分变化非常快。最新引入的标准（特别是LTE网络）直接影响RF元件，并且将会使用更多的传感器为在线服务打开新的大门。

总结当前市场：MEMS技术看消费电子，消费电子看智能手机，智能手机看苹果手机，苹果手机看乔布斯，乔布斯看上帝（癌症病情）。