眼动追踪，是指通过测量眼睛的注视点的位置或者眼球相对头部的运动而实现对眼球运动的追踪。目前，LG和三星曾推出过具有眼动追踪技术的手机。如三星某款Galaxy手机就可以通过检测用户的眼睛状态来控制锁屏的时间，同时眼球还可以来控制页面的上下滚动。

VR设备需要眼动追踪方式的支持。资料图

一种比较常用的无创眼动追踪方式为视频、图像捕捉。摄像头拍摄得到眼部图片，具有一些可以提取的特征，经过某些图像处理的算法提取出这些特征参数，从而确定眼球位置，用于判定人眼注视的方向和目标，计算结果由处理器CPU反应于用户所使用的VR、AR设备上。

直径20厘米的MEMS芯片示意图，资料图

而这其中，MEMS微机械传感器技术推进着眼球追踪技术的进步，让其更好地支持VR/移动设备。目前，MEMS传感器、驱动器同样可以实现眼球追踪功能，并且具有极大的发展潜力。

MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米，相比之下头发的直径大约是50微米。MEMS器件主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等，是微型传感器、驱动器的主力军，正在逐渐取代传统机械器件。

硅片上的重复单元可称为芯片，每个重复单元可含有若干MEMS传感器，甚至包含相应的集成电路。资料图

成本有可能通过工艺优化、批量生产大幅度降低，主要原因是由于MEMS生产不同于传统加工制造生产，MEMS采用类似于集成电路的制造工艺，由于产品体积小，在一个二十厘米的硅片上可一次性生产出上千器件。若单个MEMS传感器芯片面积为5mmx5mm，也有大量MEMS传感器可以小于毫米尺度，则一个直径20厘米硅片可切割出约1000个MEMS传感器芯片，分摊到每个芯片的成本则可大幅度降低。

由于具有上述优势，基于MEMS的眼动追踪系统在AR、AR系统中具有不可比拟的优势，也将成为VR、AR装置小型化、低成本化重要资本。