德国半导体厂商英飞凌(Infineon)在2016年收购荷兰半导体设计公司Innoluce并取得其所研发微型雷射扫描技术后，目前正在开发采用微机电系统(MEMS)的光达(LiDAR)芯片，可望降低光达系统与自驾车的成本。

据Next Big Future网站报导，这个元件是由一个大小仅3x4公厘的矽基固态MEMS椭圆形反射镜组成，并与使用电共振的致动器连结，以左右摆动方式改变反射光的方向。英飞凌表示，这种方式可以完全发挥雷射的扫描功能，不像快闪(flash-based)系统中的光会分散。车用感测与控制部门主管Ralf Bornefeld表示，MEMS光达每秒可扫描高达5,000个资料点，扫描范围为250公尺。

虽然装有活动式的反射镜，Bornefeld认为这颗芯片与其它矽芯片一样坚固可靠。预计一旦这颗MEMS光达芯片进入量产，并可以安装在挡风玻璃上时，成本可望降至250美元以下。除了辅助汽车自动驾驶，这种微型光达也可以应用在机器人和无人机等领域。

Bornefeld表示，许多工程师都看好未来的自驾车将会采用多个迷你光达、雷达、超音波传感器和数码相机系统。这是因为每种传感器系统有其优缺点，如果将这些系统加以集成，将可确保自驾车行驶时的安全。