模拟和数字麦克风输出信号在设计中显然有不同的考虑因素。本文要讨论将模拟和数字MEMS麦克风集成进系统设计时的差别和需要考虑的因素。

　　MEMS麦克风内部细节

　　MEMS麦克风输出并不是直接来自MEMS换能单元。换能器实质上是一个可变电容，并且具有特别高的兆欧级输出阻抗。

　　在麦克风封装中，换能器信号先被送往前置放大器，而这个放大器的首要功能是阻抗变换，当麦克风接进音频信号链时将输出阻抗降低到更合适的值。麦克风的输出电路也是在这个前置放大电路中实现的。

　　对于模拟MEMS麦克风来说，图1所示的这种电路基本上是一个具有特殊输出阻抗的放大器。在数字MEMS麦克风中，这个放大器与模数转换器（ADC）集成在一起，以脉冲密度调制（PDM）或I2S格式提供数字输出。

　　

　　图1：典型的模拟MEMS麦克风框图

　　图2是PDM输出MEMS麦克风的功能框图，图3是典型的I2S输出数字麦克风。I2S麦克风包含PDM麦克风中的所有数字电路，还包含抽取滤波器和串口。

　　

　　图2：典型的PDMMEMS麦克风框图

　　

　　图3：典型的I2SMEMS麦克风框图

　　MEMS麦克风封装在半导体器件中比较独特，因为在封装中有一个洞，用于声学能量抵达换能单元。在这个封装内部，MEMS麦克风换能器和模拟或数字ASIC绑定在一起，并安装在一个公共的叠层上。然后在叠层上方又绑定一个盖子，用于封住换能器和ASIC。这种叠层通常是一小块PCB，用于将IC出来的信号连接到麦克风封装外部的引脚上。

　　图4和图5分别显示了模拟和数字MEMS麦克风的内部细节。在这些图片中，你可以看到左边的换能器和右边的ASIC（在环氧树脂底下），两者都安装在叠层上。数字麦克风有额外的绑定线将来自ASIC的电气信号连接到叠层。

　　

　　图4：模拟MEMS麦克风中的换能器和ASIC

　　

　　图5：数字MEMS麦克风中的换能器和ASIC