半导体装备制造业是为我国集成电路和半导体器件行业提供工艺装备的战略性产业，是提升我国半导体产业制造能力的高端装备制造产业，也是国家支持的重大技术装备产业。中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠向《中国电子报》记者表示，目前我国光伏设备以及LED设备目前已经基本上全面本土化，集成电路设备目前相比较而言依赖于进口较多。如今，如何快速发展本土半导体设备也成为人们关注的焦点。

中国半导体设备产业继续保持快速增长

半导体设备主要包括集成电路设备、光伏设备、LED设备和分立器件设备。近年来，中国半导体设备产业发展迅速，市场规模逐步扩大。据金存忠介绍，在2019年，中国半导体设备继续保持快速增长，根据中国电子专用设备工业协会对国内47家规模以上（半导体设备年销售收入500万元以上）半导体设备制造商2019年完成的主要经济指标统计显示：半导体设备销售收入完成161.82亿元，同比增长30％；半导体设备出口货值完成16.35亿元，同比增长2.6%；半导体设备制造商实现总利润（含所有产品）27.13亿元，同比增长26.7%。此外，2016年—2019年中国半导体设备制造商销售收入年均增长41.3％，实现总利润年均增长23.5％，出口货值年均增长27.8％。

此外，目前我国集成电路和光伏设备订单增长较快，在2019年订单基本处于饱和状态的基础上，今年上半年依然保持良好。同时，SEMI数据显示，2019年中国内地半导体设备市场规模达到134.5亿美元，占比全球半导体设备市场的22.5%，位居全球第二。此外，在2019年整个半导体产业萎缩、全球半导体设备销售额下降7%的大背景下，中国半导体设备市场需求仍然保持3%的增长。可见中国半导体设备市场规模之庞大。

高端设备产业发展面临三大问题

与此同时，由于集成电路设备产业具备极高的门槛和壁垒，国产集成电路设备依然面临着种种挑战。金存忠介绍，目前中国集成电路设备产业主要面临着三大问题。首先，目前国产集成电路设备市场占有率较低。2019年中国集成电路设备在中国内地市场占有率仅为10%左右。

其次，中国集成电路晶圆生产关键设备（如光刻机）仍需依赖于进口，14nm制程国产集成电路晶圆生产设备2019年刚刚进入产线量产，落后2019年国际先进的5纳米量产生产线设备二代以上。此外，一些已进入晶圆量产生产线的国产设备中，有些设备与国际同类设备相比依然存在差距。

最后，目前国产半导体设备关键部件本地化进程缓慢，进口依赖度较大，集成电路晶圆生产设备关键部件进口额占设备销售额的30%～40%。例如，干泵、分子泵、机械手（洁净、真空）、高温加热装置（温控器）、射频电源、真空阀门等。

产业处于较好市场环境厂商将提速扩产

然而，随着我国半导体产业制造能力的提升，在一些问题逐渐迎刃而解的同时也迎来很多新的发展机遇。金存忠认为，2019年国产集成电路晶圆生产线设备产业化发展迅速，集成电路晶圆生产线主要核心工艺设备已达到14纳米量产水平，并且，中微半导体设备（上海）有限公司研制的5纳米等离子体刻蚀机也通过了生产线的验证。据预计，2020年国产集成电路设备销售收入将增长50%左右。

其次，平价上网的到来给太阳能电池设备也带了很多新的发展机遇。2019年是太阳能发电平价上网的元年，先进的PRCE晶硅太阳能电池片生产线设备受到市场的追捧成为光伏企业扩产的选择，全自动、智能化、大产能单晶硅生长和切片设备销售也得到快速增长。2019年国产太阳能电池片生产设备销售收入将继续保持增长态势，同比增长40%。

最后，金存忠预测，尽管受疫情影响，2020年第一季度半导体设备销售情况一般，但是集成电路设备和太阳能电池片制造设备市场增长趋势没有改变，预计2020年中国主要半导体设备制造商销售收入将达200亿元左右，同比增长20%左右。此外，金存忠认为，2020年国内集成电路设备行业将处于较好的市场环境，中国内地本土集成电路晶圆厂将扩产提速，国产装备将在2020年进入较快发展时期。预计2020年集成电路生产设备将增长30%左右，销售收入将超过太阳能电池片生产设备，达到90亿元以上。